COG製造プロセス技術紹介 前編

オンラインプラズマ洗浄技術

LCDディスプレイのプラズマクリーニング

LCDディスプレイのCOGアセンブリおよび製造プロセスでは、ITOガラス上のピンとIC上のピンが接続して導通できるように、ICをITOガラスのピンに取り付ける必要があります。細線技術の継続的な発展に伴い、COGプロセスではITOガラス表面の清浄度に対する要求がますます高まっています。そのため、ICボンディング前のガラス表面に有機物や無機物が残らないようにし、ICへの影響を防ぐ必要があります。 ITO ガラス電極と IC BUMP 間の導電性、およびその後の腐食の問題。

現在のITOガラス洗浄プロセス、COG製造プロセスでは、アルコール洗浄、超音波洗浄などのさまざまな洗浄剤を使用してガラスを洗浄しようとしています。しかし、洗浄剤の導入により、洗剤残留物などの他の関連問題が発生する可能性があります。そのため、新しい洗浄方法を模索することが LCD-COG メーカーの方向性となっています。