COG製造プロセス技術紹介 パート1

オンラインプラズマ洗浄技術

LCDディスプレイのプラズマクリーニング

LCDディスプレイのCOG組立・製造工程では、ICをITOガラスピンに実装する必要があります。これにより、ITOガラス上のピンとIC上のピンが導通し、良好な導通が得られます。細線技術の継続的な発展に伴い、COG工程におけるITOガラス表面の清浄度に対する要求はますます厳しくなっています。そのため、IC接合前にガラス表面に有機物や無機物が残らないようにする必要があります。そうすることで、ITOガラス電極とICバンプ間の導通性への影響、ひいては後々の腐食問題を防ぐことができます。

現在のITOガラス洗浄工程やCOG製造工程では、アルコール洗浄や超音波洗浄など、様々な洗浄剤を用いてガラスを洗浄しようと試みられています。しかし、洗浄剤の導入は、洗剤残留などの関連する問題を引き起こす可能性があります。そのため、LCD-COGメーカーは新たな洗浄方法を模索する方向に進んでいます。